| 测量范围 |
电阻率：10-5～105
Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：10-4～106
Ω/□(可扩展)；
电导率：10-5～105
s/cm；
电阻：10-5～105
Ω；
|
| 可测晶片直径 |
140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
400mmX500mm(配S-2C型测试台)； |
| 恒流源 |
电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调 |
| 数字电压表 |
量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
输入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1%
；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示； |
| 四探针探头基本指标 |
间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3%；
探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)； |
| 模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) |
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
| 整机测量最大相对误差 |
(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
软件功能（选配） |
软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 |
| 计算机通讯接口 |
并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5
秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。 |
| 标准使用环境 |
温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无高频干扰；
无强光直射； |
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