测量范围 |
电阻率:0.0001~2000Ω.cm(可扩展);
方块电阻:0.001~20000Ω/□(可扩展); 电导率:0.0005~10000
s/cm; 电阻:0.0001~2000Ω.cm;
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可测晶片直径 |
140mmX150mm(配S-2A型测试台);
200mmX200mm(配S-2B型测试台); 400mmX500mm(配S-2C型测试台); |
恒流源 |
电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档,各档电流连续可调 |
数字电压表 |
量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV; 输入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1%
; 显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示; |
四探针探头基本指标 |
间距:1±0.01mm; 针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%; 探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力); |
模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行) |
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整机测量最大相对误差 |
(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5% |
软件功能(选配) |
软件可记录、保存、打印每一点的测试数据,并统计分析测试数据最大值、最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图,也可把测试数据输出到Excel中,对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能,根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。 |
计算机通讯接口 |
并口,高速并行采集数据,连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒 |
标准使用环境 |
温度:23±2℃; 相对湿度:≤65%;
无高频干扰; 无强光直射; |